通過(guò)在薄膜表面添加各種功能、且能適應(yīng)特定應(yīng)用的表面,可生產(chǎn)出具有多種特性的薄膜產(chǎn)品。具體來(lái)說(shuō)有多種技術(shù),以下是簡(jiǎn)單的介紹:
提高導(dǎo)電性技術(shù)
真空條件下,在膜表面形成導(dǎo)電性納米級(jí)薄膜的技術(shù),應(yīng)用于柔性印制電路板、觸摸板透明導(dǎo)電薄膜保護(hù)膜等產(chǎn)品。
濺射沉積技術(shù)
在氬氣中對(duì)目標(biāo)施加高壓時(shí),便會(huì)形成 Ar+ 和電子組成的等離子體。 Ar+ 在電場(chǎng)中加速,會(huì)對(duì)目標(biāo)產(chǎn)生影響,最終噴射出目標(biāo)物質(zhì)。 有些情況下,噴射出的原子會(huì)直接沉淀到基膜上,而另一些情況下,如氧氣等活性氣體混入氬氣中時(shí),則會(huì)沉淀出包含目標(biāo)物質(zhì)和氧氣的化合物。 ITO 透明導(dǎo)電膜便屬于后一種,通過(guò)補(bǔ)充 In2O3-SnO2 目標(biāo)物質(zhì)中的氧氣(在分解過(guò)程中失去)形成。